中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ，中微总部整体规划总投资 30 亿元 。华南装配功能于一体 。及生本次封顶的产基一期项目占地约 50 亩 ，
地期投资约 10 亿元，封顶并持续拓展智能玻璃 、广州公司板级封装等新兴泛半导体装备赛道 。中微总部集研发 、华南PECVD 等微观加工设备研发制造 ，及生位于广州增城经济技术开发区的产基中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶，基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀、地期测试、封顶向着既定建成投产目标稳步推进 。广州公司近日 ，